半導体製造において、歩留りはコストに直結します。そのため、歩留りの制約となる欠陥を捕捉しつつ、検査時間を短縮することが重要です。
近年の高速かつ高感度が求められる検査において、Teledyne DALSA社の高解像度エリアスキャンカメラおよび高感度TDI方式ラインスキャンカメラが有効です。
【産業用カメラ】半導体検査
目次
半導体製造において、歩留りはコストに直結します。そのため、歩留りの制約となる欠陥を捕捉しつつ、検査時間を短縮することが重要です。
近年の高速かつ高感度が求められる検査において、Teledyne DALSA社の高解像度エリアスキャンカメラおよび高感度TDI方式ラインスキャンカメラが有効です。