CCD・CMOSカメラ、エリアカメラ・ラインセンサ等画像機器

半導体検査

半導体製造において、歩留りはコストに直結します。そのため、歩留りの制約となる欠陥を捕捉しつつ、検査時間を短縮することが重要です。よって、高速かつ高感度での検査が求められます。テラダインダルサ社の高解像度エリアカメラおよび高感度TDI方式ラインカメラは、このような検査に有益です。

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